项目单位简介：
       俄科学院伊尔库茨克科学中心化学所成立于1957年，现有员工300多人，其中科研人员150多人，科员院院士1人。主要研究方向为：
       具有独特化学性质以及特殊用途物质的定向合成与分解：医药制剂、农业制剂等；
       化学键理论、化学反应机理、反应能力等：硅有机化合物的反应能力和结构，包括超化合价三坐标硅化合物等。

       项目简介：
       目前生产集中微电路和半导体仪器时广泛应用诸如甲硅烷、乙硼烷、磷化氢等价格昂贵、易燃易爆的气体，成本高，安全隐患大。该研究所研制的利用环保、无毒、高纯度的液态有机硅药剂，能够替代广泛使用的易燃易爆、价格高昂的气体。在药剂中具有集成微电路中组成片段，如si-osi，si-n-si，si-n-c等，这使得在用等离子分层方法生产微电路中得到二氧化硅。产生薄层的电气物理性能不亚于、甚至超过有毒气体物质基础上沉淀的薄膜。