俄歇电子能谱(AES)是目前用于固体最表层原子元素标识的一种方法,对于许多先进电子设备的研发至关重要,而且也广泛应用于从气相化学到纳米结构表征等多个领域。
现有AES硬件仍存在着笨重,昂贵,速度慢等问题,而且需要超高真空环境来实现分析功能。英国约克大学研制的分析仪可在一秒钟内捕捉到全部俄歇光谱,从而克服现有AES的以上缺陷。主要应用包括,纳米器件和结构的定量元素分析以及半导体产业中评估“杀手颗粒”。
技术成熟度:专利、实验室成果
外方提议合作方式:技术转让