R218,是一种商品,又名全氟丙烷,纯度不低于99.99%的R218,作为制冷剂、推进燃料、气体电介质及反应剂,可用作大型和超大型集成电路生产中的等离子化学蚀刻。
R218合成是一个连续生产过程,包括:三氟化钴跟六氟丙烯相互作用合成R218半成品以及合成后的中和处理、干燥、压缩、冷凝、精馏分离等阶段。该R218生产技术由俄罗斯应用化学科学中心于1988年开发研制,并经过中试成功后在乌拉尔的“卤素”生产联合体工业产业化。目前推荐的R218技术,在原开发基础上,对合成及净化系统进行了改进,使产品的纯度达到了99.99%(重量比)。
已设计的R218生产装置能力为200吨/年(半工业化装置)。可以从80-120吨/年的装置能力做起。由于R218生产工艺流程为连续生产过程,需要装置全天运行,每年开330天计7920小时。
外方无偿提供专利技术、技术指导,提取专利技术使用费计入成本,产品包销。